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Films TiO2 réalisés en dynamique par PECVD à pression atmosphérique : Optimisation du procédé pour l'obtention de couches cristallisées
1 : SPCTS CNRS UMR 7315 University of Limoges
(SPCTS)
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Site web
* : Auteur correspondant
Université de Limoges
16, rue Atlantis 87068 Limoges Cedex -
France
| Type : | : | Résumé Jeunes Chercheurs |
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