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Films TiO2 réalisés en dynamique par PECVD à pression atmosphérique : Optimisation du procédé pour l'obtention de couches cristallisées
Amélie Perraudeau  1@  , Christelle Dublanche-Tixier  1, *@  , Pascal Tristant  1@  , Christophe Chazelas  1  
1 : SPCTS CNRS UMR 7315 University of Limoges  (SPCTS)  -  Site web
Université de Limoges
16, rue Atlantis 87068 Limoges Cedex -  France
* : Auteur correspondant

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